近日，湖北興福電子材料股份有限公司發布公告，以4626.78萬元收購湖北三峽實驗室重大科技成果“光刻膠用光引發劑制備專有技術及實驗設備所有權”。這項半導體領域“卡脖子”技術走向市場后，將打破該材料長期被境外企業壟斷的局面。
湖北三峽實驗室光引發劑項目研發負責人介紹，此次轉讓的成果G/I線光刻膠用光引發劑的關鍵技術，主要用于芯片和顯示領域。
芯片制造需要幾百種設備和材料，其中光刻機和光刻膠是常被提起的“卡脖子”產品。而對光刻膠的感光度和分辨率起決定性作用的，就是光引發劑。“目前，在國產芯片和顯示領域，光刻膠用光引發劑幾乎全部依賴美日韓進口。”該負責人表示。
“這是一次市場需求倒逼的研發創新，企業出題，實驗室答題。”湖北三峽實驗室主任池汝安透露，微電子新材料是三峽實驗室的研究方向之一，近年來，許多半導體客戶表示，因光引發劑遭遇限購和斷供，國產光刻膠多次被“卡脖子”，給國內半導體產業鏈的生產帶來極大壓力。
主攻芯片蝕刻電子級磷酸、電子級硫酸等產品的興福電子，希望切入光引發劑產業賽道，但從0到1的研發風險卻成了難題。“一旦研發失敗，巨大的投入和時間成本，將令企業難以承受。”興福電子總工程師賀兆波表示，企業想到了三峽實驗室。
興福電子提出委托研發意向后，三峽實驗室當即決定開展光引發劑關鍵技術的攻關。“面向產業需求做研發，本就是湖北實驗室的特色和使命。”池汝安說。
在歷經三年研發攻堅后，今年5月，上海一家光刻膠龍頭企業回復三峽實驗室：“送樣各項指標與國外進口廠商達到同一水平。”隨后，中試樣品在多家光刻膠企業都通過了初輪驗證，相關技術終于具備產業化條件。
池汝安介紹，該成果已進入產業化前期階段，投產后將成為湖北第一條光刻膠用光引發劑生產線，對我國光刻膠產業發展將起到積極作用。
