最重要的特性：
通過高水平的SEM和EDX硬件集成實現了快速、完全自動化的數據采集；
基于VEGA SEM平臺；
新設計的樣品臺集成了BSE/EDX校正標準和法拉第杯；
根據客戶的需求更改樣品的尺寸；
最多集成4個EDX探測器確保系統的性能最高；
新的Peltier冷卻型EDX探測器確保熱穩定性；
改進的方法使數據分析既快又可靠；
根據樣品的每個部分可調整掃描和EDX分析的時間；
離線數據處理；
各種各樣的數據分析模塊；