DektakXT在設計上的幾個提高，使其在測量臺階高度重復性方面具有優異的表現，臺階高度重復性可以到達5Å.使用single-arch結構比原先的懸臂梁設計更堅硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。同時，Bruker還對儀器的智能化電子器件進行完善，提高其穩定性，降低溫度變化對它的影響，并采用先進的數據處理器。在控制器電路中使用這些靈敏的電子元器件,會把可能引起誤差的噪音降到最低，DektakXT的系統因此可以更穩定可靠的實現對高度小于10nm的臺階的掃描。Single-arch結構和智能器件的聯用，大大降低了掃描臺的噪音，增強了穩定性，使其成為一個極具競爭力的臺階儀