探針的工作模式：主要分為  掃描(接觸)模式和輕敲模式
探針的結(jié)構(gòu)：懸臂梁+針尖
探針針尖曲率半徑Tip Radius：一般為10nm到幾十nm。
制作工藝：半導(dǎo)體工藝制作

常見的探針類型：
（1）、導(dǎo)電探針（電學(xué)）：金剛石鍍層針尖，性能比較穩(wěn)定
（2）、壓痕探針：金剛石探針針尖（分為套裝和非套裝的）
（3）、氮化硅探針：接觸式 （分為普通的和銳化的）
（4）、磁性探針：應(yīng)用于MFM，通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備
（5）、電化學(xué)探針（STM）: 電學(xué)接觸式和電學(xué)輕敲式
（6）、FIB大長徑比探針：測半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，專為測量深的溝槽（深孔）以及近似鉛垂的側(cè)面而設(shè)計生產(chǎn)的。