SW-6500D型多晶硅過程氣體分析系統
系統介紹 
SW-6500D型多晶硅過程氣體分析系統可連續監測工業硅提純的三氯氫硅氫還原工藝中氫氣的氧含量和微水含量以及在尾氣管道保護氣氮氣的氧含量和微水含量，從而保證最后提煉超純硅的品質。 
系統特點
取樣探頭為可插拔式探頭，方便更換濾芯
過濾器可過粉塵和硅粉，過濾精度為0.3μm
大屏幕現場就地顯示
采用進口陶瓷阻抗式露點分析儀
技術參數
型號：SW-6500D
信號輸出：4-20 mA輸出
響應時間：T90<30s
工作溫度：-20º~+60º
電源：220 VAC
防護等級：IP65
系統部件：316L不銹鋼
防爆標準：符合EEx ia IIC T4
微量水分析儀：
測量范圍：+20~ -100℃
精度：+20~-60℃ 露點范圍內為±1º
-60~-100℃ 露點范圍內為±2º
工作壓力：真空~40 MPa
防爆標準：非現場顯示型符合EEx ia IIC T4
氧含量分析儀：
測量范圍：0-25%（量程任選）
精度：<1%FS