多晶硅太陽能電池板清洗機
品牌：《南軒電子》設備用于1-6"硅片的半導體清洗過程中，去除工件表面的油污及其他有機物、除膠、去金屬離子等。 1.設備由五大部分組成：清洗槽部分、伺服系統及機械臂部分、層流凈化系統、電氣控制系統、機架及整機。 2.清洗槽部分由有機溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。 3.關鍵件采用進口件，包括氣動閥，PFA管道，全氟循環系統，保證工作介質（酸、堿）的潔凈度，避免雜質析出。 4.工藝過程全自動，機械手在槽間的轉換由兩套伺服系統控制，可存儲多條工藝時序，方便使用。 5.人機界面為觸摸屏，方便直觀。 6.除裝片和取片需人工外，其余工藝動作均可自動完成，適用于連續批量生產。 7.工作區設凈化裝置，內設高效過濾器，滿足工作區凈化要求（1000-100級，10級為特制） 8.界面中有故障報警、安全保護、工藝時序號等功能。 （8）主要指標： ：18000×1600×2000（長×寬×高） /2.適用硅片：1-6" /3.裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃）/4.工作區潔凈度：100級 /5.槽間工藝轉換時間：Tmax≤3.5s有需求此方面設備的朋友，歡迎來電咨詢：馬勝南15010795119，010-52103382。