特征 <BR> 結(jié)構(gòu)緊湊，桌上單位 <BR> 可調(diào)射頻功率 <BR> 低，中，高級(jí)電源設(shè)置 <BR> 兩個(gè)等離子體清潔機(jī)型： <BR>o 的PDC - 001 （ 115V ） ;的PDC - 002 （ 230V ） <BR> -擴(kuò)展模型 <BR> -包括一個(gè)6 “直徑6 1 / 2 ”長硼硅分庭和一個(gè)組成開關(guān)的真空泵 <BR> -它的鉸接蓋采用了磁性關(guān)閉和視窗 <BR> -適用于最高至30W的射頻線圈 <BR> - 1月8日“不擴(kuò)散核武器條約針閥控制氣體流量和壓力室 <BR> - 1月8日“不擴(kuò)散核武器條約3單向閥，快速開關(guān)出血天然氣，隔離室，和通風(fēng) <BR> -重量：四十五英鎊 <BR> -尺寸： 11 “高x 18 ”寬x 9日的“ D <BR>o 的PDC - 32G條（ 115V ） ;的PDC - 32G條- 2 （ 230V ） <BR> -基本模型 <BR> -包括一個(gè)3 “直徑6 1 / 2 ”長硼硅廳和一個(gè)可移動(dòng)的封面大會(huì) <BR> -應(yīng)用最多18W的射頻線圈 <BR> - 1月8日“不擴(kuò)散核武器條約針閥控制氣體流量和壓力室 <BR> - 1月8日“不擴(kuò)散核武器條約3單向閥，快速開關(guān)出血天然氣，隔離室，和通風(fēng) <BR> -重量：一十三英鎊 <BR> -尺寸： 8 1 / 2 “高x 10 ”寬x 8的“ D <BR> 任擇石英等離子體清潔室 <BR> 任擇流混合器允許獨(dú)立水表攝入量最多兩個(gè)不同的氣體和監(jiān)測(cè)的壓力，在會(huì)議廳內(nèi) <BR> 兼容現(xiàn)有真空泵 <BR>需要 <BR> 阿真空泵最低抽速為1.4 立方米 /小時(shí)，最高最終總壓200 mTorr <BR>電源設(shè)置 <BR> 描述 <BR>的PDC - 32G條或PDC - 32G條- 2 <BR>的PDC - 001或PDC - 002 
<P></P> 輸入功率 <BR> 100W功率 <BR>功率200W 
<P></P>  適用于射頻線圈 
<P></P> 低設(shè)置 <BR> 680V直流 <BR> 10毫安直流 <BR> 6.8W <BR> 716V直流 <BR>一〇毫安直流 <BR> 7.16W 
<P></P> 中設(shè)置 <BR> 700V直流 <BR>一五毫安直流 <BR> 10.5W <BR> 720V直流 <BR>一五毫安直流 <BR> 10.15W 
<P></P> 高級(jí)設(shè)置 <BR> 720V直流 <BR>二十五毫安直流 <BR> 18W <BR> 740V直流 <BR> 40毫安直流 <BR> 29.6W 
<P></P>
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