可在微區領域進行高靈敏度的元素分析裝置。控制系統全部數字化。觀察、分析只需使用鼠標、鍵盤，操作極為便利，并可通過互聯網進行計算機操作。EPMA-1610型配備高性能CeBix燈絲，實現了在亞微米領域的分析實用化。

微區高靈敏度•高精度分析的EPMA！豐富多樣的分析模式，為研究開發，失效分析發揮威力。