參數： 氮氣純度：含氧量<3ppm，露點-56℃ 
氮氣流量：0-500mL/min 
工作壓力：0.4MPa 
消耗功率：200W 
外型尺寸：360×200×260(mm) 
凈    　重：約13kg
 
特性： 純度高、全自動、防返堿液、流量跟蹤。