EMS 150膜厚監控儀和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發鍍膜儀配套使用，以便對膜厚進行監控。提供內置模塊和外接裝置。
石英晶體是離子型的晶體，由于結晶點陣的有規則分布，當發生拉伸或壓縮時能產生電極化現象，稱為壓電現象。石英晶體壓電效應的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸，切割類型，而且還取決于芯片的厚度。當芯片上鍍了某種膜層，使芯片的厚度增大，則芯片的固有頻率會相應的衰減。膜厚監控儀就是通過測量頻率或與頻率有關的參量的變化而監控淀積薄膜的厚度。
膜厚監控儀(FTM)是如何工作的呢？鍍膜時，膜厚監控儀里面的晶振片的高速振動，測試每秒鐘振動次數的改變，從所接受的數據中計算膜層的厚度。
儀器參數：
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儀器尺寸 |
300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H) |
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重量 |
6Kg |
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可配套儀器 |
EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, |
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晶片座 |
置晶片裝置 |
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密度范圍 |
1.55 to 23.0g/cm-3 |
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測控范圍 |
5 to 999nm |
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鍍碳時精度 |
0.8nm |
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鍍金時精度 |
0.1nm |
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電源 |
230V 50 Hz (3 Amp Max) |
訂購信息;
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貨號 |
產品名稱 |
規格 |
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91006 |
EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone. |
臺 |
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91006-M |
EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module |
臺 |
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91008 |
Spare Crystals |
盒 |
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91009 |
Spare Glass Cylinder |
個 |